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超純水處理設(shè)備：既將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì),、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水,。電阻率大18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm極限值,。這就需要用到水處理技術(shù),。
早期超純水的需求主要是來自發(fā)電、醫(yī)藥化工,、造紙等行業(yè),，水質(zhì)要求相對較低，其制備只要采用離子交換,，該方法的主要缺點(diǎn)是化學(xué)藥劑再生,，既麻煩又不經(jīng)濟(jì)，而且由于強(qiáng)行樹脂對一般有機(jī)分子除去效果差,，出水中TOC含量高,，隨著半導(dǎo)體工業(yè)法杖，對超純水質(zhì)量要求提高,，從而大大的推動了純水技術(shù)的發(fā)展,，到了上個世紀(jì)末，膜技術(shù)得到了廣泛的應(yīng)用,，微濾,，超濾，電滲析和反滲透技術(shù)先進(jìn)的水處理技術(shù)得到了飛速的發(fā)展,，膜法制備純水取代了傳統(tǒng)的離子交換器系統(tǒng),，解決了TOC問題，滿足了電子行業(yè)對純水質(zhì)量的要求,。
傳統(tǒng)超純水處理設(shè)備工藝流程:原水—多介質(zhì)過濾器—活性炭過濾器—一級除鹽—混床—超純水
膜法超純水處理設(shè)備工藝流程:原水—超濾—反滲透—EDI—超純水
在膜法工藝中,，超濾，微濾替代澄清,，石英砂過濾器，活性炭過濾器,，除去水中的懸浮物膠體和有機(jī)物,，降低濁度,，SDI,，COD等,，可以實(shí)現(xiàn)反滲透裝置對污水回用的安全,，高效運(yùn)行,，以反滲透替代離子交換器脫鹽,，進(jìn)一步除去有機(jī)物,，膠體,，細(xì)菌等雜質(zhì),，可以保證反滲透出水滿足EDI進(jìn)水的要求,，以EDI代替混床深度脫鹽,，利用電而不是酸堿對樹脂再生，避免了二次污染,。
